傳(chuan)感器技(ji)術(shu)是現代(dai)科技(ji)的前(qian)沿技(ji)術(shu),傳(chuan)感器產業也是國內外公認的具有發展前(qian)途的高技(ji)術(shu)產業,它以其技(ji)術(shu)含(han)量高、經濟效益好、滲透能力強、市(shi)場(chang)前(qian)景(jing)廣等特點為世人矚目。
我國自動化(hua)方(fang)(fang)面的(de)專(zhuan)家呼吁:目前復(fu)雜系統(tong)越(yue)來越(yue)復(fu)雜,自動化(hua)已經陷入低谷(gu),其(qi)主要原因之一是傳(chuan)感(gan)技術的(de)落后(hou)(hou)(hou),一方(fang)(fang)面表現為傳(chuan)感(gan)器在感(gan)知信息方(fang)(fang)面的(de)落后(hou)(hou)(hou);另一方(fang)(fang)面也表現為傳(chuan)感(gan)器自身在智能化(hua)和網絡(luo)化(hua)方(fang)(fang)面的(de)技術落后(hou)(hou)(hou)。
分(fen)析儀(yi)(yi)器(qi)(qi)(qi)產業(ye)迫切需(xu)要新(xin)(xin)型(xing)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)。分(fen)析儀(yi)(yi)器(qi)(qi)(qi)是(shi)我國科技、經濟和社會持續(xu)發展的(de)基礎,無論在工(gong)業(ye)過程控制(zhi)、設施(shi)農(nong)業(ye)、生物醫學、環境控制(zhi)、食品安全乃至(zhi)航(hang)空航(hang)天(tian)、國防工(gong)程等領域,均(jun)迫切需(xu)要各類(lei)新(xin)(xin)型(xing)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)作(zuo)為信息攝取源(yuan)的(de)小型(xing)化(hua)、專用(yong)化(hua)、簡用(yong)化(hua)、家庭化(hua)(甚(shen)至(zhi)個人化(hua))的(de)新(xin)(xin)一代分(fen)析儀(yi)(yi)器(qi)(qi)(qi),實(shi)現更靈(ling)敏(min)、更準確、更快速、更可靠地實(shi)時檢測,以迅速改(gai)變我國分(fen)析儀(yi)(yi)器(qi)(qi)(qi)的(de)落(luo)后狀況。
而技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)推動是(shi)加速傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)發(fa)(fa)(fa)展的(de)保(bao)證和(he)(he)(he)機遇。幾十年(nian)(nian)來,以微電(dian)子(zi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)為(wei)基(ji)(ji)礎(chu),促(cu)進了傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)發(fa)(fa)(fa)展。未來10~20年(nian)(nian),傳(chuan)統硅(gui)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)將(jiang)進入成熟(shu)期(預測為(wei)2014年(nian)(nian)~2017年(nian)(nian))。屆時,直徑300mm硅(gui)晶(jing)片將(jiang)大(da)量用于生產,使得硅(gui)的(de)低(di)成本(ben)制造技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)和(he)(he)(he)硅(gui)的(de)應用技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)將(jiang)得到(dao)空前的(de)發(fa)(fa)(fa)展,這無(wu)疑將(jiang)為(wei)研(yan)制生產微型傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、智能傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)等新型傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)提供技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)保(bao)障。從總體(ti)發(fa)(fa)(fa)展看,傳(chuan)統硅(gui)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)將(jiang)一(yi)直延續到(dao)2047年(nian)(nian)(即(ji)晶(jing)體(ti)管發(fa)(fa)(fa)明100周年(nian)(nian))才趨于飽和(he)(he)(he)(即(ji)達到(dao)芯片特征(zheng)尺寸的(de)極(ji)限)和(he)(he)(he)衰(shuai)退。而當(dang)前微電(dian)子(zi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)仍將(jiang)依循(xun)“等縮比原理”和(he)(he)(he)“摩爾定律”兩(liang)條(tiao)基(ji)(ji)礎(chu)規律走下去,在盡(jin)力逼近(jin)傳(chuan)統硅(gui)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)極(ji)限中,不(bu)斷擴(kuo)展硅(gui)的(de)跨學科(ke)橫向應用(如MEMS等)和(he)(he)(he)突破“非穩態物理器(qi)(qi)(qi)件(jian)”(量子(zi)、分子(zi)器(qi)(qi)(qi)件(jian)),而上(shang)述微電(dian)子(zi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)發(fa)(fa)(fa)展中的(de)兩(liang)大(da)方(fang)(fang)向正(zheng)是(shi)當(dang)前乃至未來20年(nian)(nian)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)主要發(fa)(fa)(fa)展方(fang)(fang)向。
同時,多(duo)(duo)學科(ke)(ke)、多(duo)(duo)種高(gao)新(xin)技術(shu)的(de)交叉(cha)融合(he),推(tui)動了新(xin)一代傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)誕生(sheng)(sheng)與(yu)發(fa)展。例如:當前我國正在(zai)重點開(kai)發(fa)的(de)MEMS(微電子與(yu)微機械的(de)結(jie)(jie)合(he))、MOMES(MEMS與(yu)微光學的(de)結(jie)(jie)合(he))、智能傳(chuan)感(gan)器(qi)(MEMS與(yu)CPU、信(xin)息控制技術(shu)的(de)結(jie)(jie)合(he))、生(sheng)(sheng)物化學傳(chuan)感(gan)器(qi)(MEMS與(yu)生(sheng)(sheng)物技術(shu)、電化學的(de)結(jie)(jie)合(he))等以及今后將大力開(kai)發(fa)的(de)網絡(luo)化傳(chuan)感(gan)器(qi)(MEMS網絡(luo)技術(shu)的(de)結(jie)(jie)合(he))、納(na)米傳(chuan)感(gan)器(qi)(納(na)米技術(shu)與(yu)傳(chuan)感(gan)技術(shu)的(de)結(jie)(jie)合(he))均(jun)是(shi)多(duo)(duo)學科(ke)(ke)、多(duo)(duo)種學科(ke)(ke)技術(shu)交叉(cha)融合(he)的(de)新(xin)一代傳(chuan)感(gan)器(qi)。